Увеличить изображение
Подложка GaAs
РУС | ENG

::  Нанометрология

УНИВЕРСАЛЬНОЕ РЕШЕНИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОТЯЖЕННЫХ ОБЪЕКТОВ


На основе аэромагнитной Наномеханики и лазерной МИМ технологии разработана принципиально новая концепция в области измерительных средств нанометрового диапазона. Эта концепция оригинальным образом сочетает высокоточное измерение и позиционирование. Основное преимущество – возможность измерения протяженных объектов с нанометровой точностью.

В рамках этой концепции создана Метрологическая платформа МП-100. Платформа оснащена лазерным фазовым микроскопом МИМ и координатным столом с нанометровой точностью позиционирования.

Область применения предлагаемого решения огромна:

  • исследование наноструктуры биологических объектов;
  • исследования новых композиционных материалов с наноструктурными компонентами;
  • наноэлектроника;
  • и т.д.

Пример применения

Нанометровое позиционирование измерительных средств позволило «Лаборатории Амфора» решить проблему создания универсального интерферометра для контроля формы асферических поверхностей. Устройство обеспечивает возможность подготовки технологического процесса формообразования асферических оптических поверхностей с минимальными затратами.


Метрологическая платформа МП-100

Метрологическая платформа МП-100 предназначена для измерений больших объектов, например:

  • подложек;
  • микроэлектронных компонент;
  • фотолитографических масок;
  • и т. д.

МП-100 обеспечивает максимальную стабильность и точность измерений, легко приспосабливается к различным условиям эксплуатации.

 Основные преимущества:

  • Нанометровая точность измерений
  • Координатная сетка 100 х 100 мм
  • Точность позиционирования на нанометровом уровне
© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru