Увеличить изображение
Тонкопленочный транзистор (TFT)
РУС | ENG

::  Метрологическая платформа МП-100

Нанометровая точность для исследования и технологического контроля больших образцов

Метрологическая платформа МП-100 обеспечивает максимальную стабильность и точность измерений, легко приспосабливается к различным условиям эксплуатации. МП-100 предназначена для измерений больших объектов, в частности:

  • подложек;
  • микроэлектронных компонент;
  • фотолитографических масок;
  • и т.д.

Среди возможных областей применения:

  • технологический контроль качества:
    • микроэлектронные компоненты
    • микроэлектрмеханические устройства
    • OLED, LCD дисплеи
    • солнечные батареи
    • подложки
    • устройства хранения данных
    • тонкие пленки
  • Фундаментальные и прикладные исследования:
    • Современное материаловедение
    • Микро- и нано- электроника
    • Фотоника

Метрологическая платформа МП-100 полностью отвечает всем современным требованиям. Прибор имеет нанометровую точность, высокую производительность, функциональность и стабильность измерений.

Состав МП-100:

  • Магнитно-аэростатический координатный стол
  • Модуляционный интерференционный микроскоп
  • Стол вертикальной подачи

Оригинальной механической конструкцией микроскопа обеспечивается стабильность интерферометрических параметров в естественных условиях и, соответственно, высокая точность измерения. Применение аэромагнитных направляющих в конструкции координатного стола позволяет восстанавливать целостное изображение протяженных объектов с нанометровым разрешением.

Координатый стол

Полностью бесконтактный, обладающий высокой жесткостью Магнитно-аэростатический координатный стол предназначен для позиционирования микроскопа МИМ и образца друг относительно друга с нанометровой точностью, высокой плоскостностью и прямолинейностью. Стол состоит из оригинальных запатентованных узлов: Бесконтактной магнитной винтовой передачи (БМВП) и Аэромагнитной направляющей. Узлы полностью бесконтактны, не нуждаются в смазке, не теряют точности благодаря отсутствию износа и нагрева.

Лазерный микроскоп МИМ

В качестве измерительного прибора используется сверхразрешающий микроскоп МИМ. Принцип действия микроскопа МИМ опирается на применение фазовой модуляции и специального алгоритма обработки интерферограмм. Благодаря этому, микроскоп МИМ обладает нанометровым разрешением в совокупности со всеми преимуществами лазерных микроскопов (высокое быстродействие, неразрушающие воздействие и т.д.).

МП-100 имеет специальную портальную конструкцию и гранитную станину для обеспечения высокой стабильности при измерениях больших объектов по всей площади.

Дополнительно к МИМ в МП-100 могут интегироваться и иные измерительные приборы, например, атомно-силовой микроскоп или тактильный датчик. Благодаря возможности сочетания различных устройств в едином комплексе, МП-100 представляет собой максимально экономичную и эффективную метрологическую систему для исследований больших объектов на нано уровне.

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru