Увеличить изображение
Клетка крови (сфероцит)
РУС | ENG

::  Координатный стол

лучшее предложение на рынке современных устройств позиционирования

Магнитно-аэростатический XY - координатный стол разработан для обеспечения точности позиционирования на уровне нескольких нанометров при большой длине хода.

Применение

  • Технологическое оборудование для фотолитографии
  • Оборудование для контроля качества
    • OLED, LCD дисплеев
    • солнечных элементов
    • фотомасок
    • микроэлектронных устройств
  • Приводы сверхточных станков
  • Предметные столы микроскопов

Целевые рынки

  • Полупроводниковая промышленность
  • Сверхточное станкостроение
  • Оборудование для хранения данных
  • Микроскопия, метрология
  • Оптика, фотоника, лазерные системы
  • Производство плоских дисплеев
  • Солнечная энергетика

Основные узлы координатного стола

Магнитно-аэростатический XY-координатный стол обеспечивает существенный подъем точности позиционирования с помощью специальных узлов:

Ключевым узлом Магнитно-аэростатического XY-координатного стола является Бесконтактная Магнитная Винтовая передача (БМВП). БМВП имеет в своем составе магнитную систему на основе постоянных высокоэнергетических магнитов, которая обеспечивает высокую жесткость и исключает нагревание деталей протекающим электрическим током. Механизм БМВП аналогичен обычной паре винт-гайка: при повороте винта гайка совершает поступательное движение. Однако БМВП -  полностью бесконтактный механизм, т.е. между резьбой винта и гайки нет контакта.

Аэромагнитные направляющие это полностью бесконтактные направляющие с пористыми аэростатическими подшипниками и постоянной магнитной системой. Магнитная система предназначена для обеспечения высокой жесткости и нагрузки, противодействующей аэростатическим подшипникам, которые используются для поддержки зазора между рельсом и танкеткой. Аэромагнитные направляющие имеют низкий профиль и легко интегрируются в координатные столы и платформы.

Конструкция координатного стола


Магнитно-аэростатический XY-координатный стол имеет специальную портальную конструкцию для увеличения производительности и стабильности позиционирования. В конструкции предусмотрено оптимальное расположение центра масс относительно центра приложения силы для повышения надежности и снижения погрешности позиционирования. Этот продукт идеально подходит производителям высокотехнологичного оборудования и системным интеграторам.

Координатный стол оснащен двумя линейными приводами:

  • для позиционирования образца
  • для позиционирования портала

Такая конструкция повышает стабильность движений и обеспечивает дополнительные преимущества технологическому процессу.

Дополнительно, XY-координатный стол оснащен гранитной станиной, которая обеспечивает температурную стабильность.

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru