Увеличить изображение
Линейный координатный стол
РУС | ENG

::  Линейный привод

Полностью бесконтактный линейный привод обеспечивает нанометровую точность позици онирования и прямолинейность траектории на больших длинах хода при сравнительно небольших габаритах и эксплуатационных затратах. При этом, жесткость бесконтактного линейного привода значительно превышает жесткость аналогов. 

Применение

  • Технологическое оборудование для фотолитографии
  • Оборудование для контроля качества
    • OLED, LCD дисплеев
    • солнечных элементов
    • фотомасок
    • микроэлектронных устройств
  • Приводы сверхточных станков
  • Предметные столы микроскопов

Целевые рынки

  • Полупроводниковая промышленность
  • Сверхточное станкостроение
  • Оборудование для хранения данных
  • Микроскопия, метрология
  • Оптика, фотоника, лазерные системы
  • Производство плоских дисплеев
  • Солнечная энергетика

Основные узлы линейного привода:

БМВП - это ключевой узел линейного стола, который обеспечивает нанометрую точность перемещения. Механизм БМВП аналогичен обычной паре винт-гайка: при повороте винта гайка совершает поступательное движение. Однако БМВП - это полностью бесконтактный механизм, за счет чего обеспечивается нанометровая точность позиционирования и отсутствие потерь на трение.

Для обеспечения максимально высокой плоскостности и прямолинейности перемещений в конструкции линейного привода использованы лучшие в своем классе бесконтактные аэромагнитные направляющие. Для контроля перемещений разработана и опробована специальная система управления бесконтактным линейным приводом. За счет этих узлов достигаются рекордно высокие эксплуатационные характеристики линейного привода.

Основные преимущества

Линейный привод идеально подходит для целого ряда высокоточных приложений, в частности:

  • сканирование поверхности и нано-измерения;
  • калибровка приборов;
  • шлифование и алмазное точение;
  • юстировка оптических элементов;
  • фотолитография;
  • контроль эпитаксиальных подложек;
  • и др.

Линейный привод полностью бесконтактный, поэтому не имеет потерь на трение, не подвергается износу даже при грубых режимах работы, а также не требует сложных и дорогостоящих систем охлаждения. Бесконтактность дает возможность перемещаться с нанометровой точностью без микроскачков, которые имеют место в приводах с элементами качения.

Все детали линейного привода изготовлены с применением точного оборудования и подвергаются строгому выходному контролю. Линейный привод устанавливается на гранитной станине и имеет гранитный предметный стол для обеспечения высокой температурной стабильности.

Возможна оптимизация конструкции привода с учетом конкретных задач.

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru