Увеличить изображение
Ступенька - тестовая структура
РУС | ENG

::  Микроскоп МИМ-340

 

МИМ-340 - Промышленный микроскоп для исследования субмикронных структур

Предназначен для  исследования оптических свойств  микро и нано рельефа крупногабаритных объектов, например поверхностей оптических элементов, вейферов, с рекордно высоким для оптической микроскопии разрешением 0,1 нм по вертикали и 10-100 нм в плоскости объекта.

Обеспечивает нанометровую (не более 100 нм) точность позиционирования объекта и привязку измеряемой области к единой системе координат.

Лазерный измерительный микроскоп, сочетающий визуализацию объектов с нанометровым разрешением и позиционирование отдельных субмикронных полей в единой координатной системе с размером поля 300х300мм, создает новые потенциальные возможности в решении научно-производственных задач. Применение МИМ будет способствовать внедрению развитию нанотехнологий в промышленность. Показана перспективность применения МИМ в оптической промышленности для измерения шероховатости,  исследования дифракционных рельефов и т.д.

Лазерный интерференционный микроскоп МИМ обладает нанометровым разрешением, высоким быстродействием и не разрушает объект в процессе исследования, что дает возможность проводить неразрушающие исследования наноразмерных структурных объектов. Использование совместно с микроскопом МИМ координатных столов, обладающих нанометровой точностью позиционирования и большой длиной хода, позволяет изучать с нанометровой точностью не только отдельные области макроскопического объекта, но и весь объект целиком.

Принцип действия

Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании оригинальных технологий лазерной микроскопии МИМ и аэромагнитных направляющих. Такое  сочетание позволяет исследовать поверхность крупногабаритных (до 300х300 мм) объектов методом МИМ без потери координаты и фокуса.

В основе технологии МИМ лежат основные принципы лазерной микроинтерферометрии. Изображение формируется модернизированным трехшаговым методом. В отличие от традиционных многошаговых методов, алгоритм расчета фазы, реализованный в МИМ, состоит в том, что точки стояния опорного зеркала и закон его перемещения выбираются из соображений минимизации погрешностей измерения фазы.

Принцип действия аэромагнитных направляющих заключается в следующем: направляющая состоит из рельса  и танкетки, внутри которой размещен постоянный магнит и каналы подачи сжатого воздуха. Между танкеткой и рельсом в работе создается аэростатическая воздушная подушка, подъемная сила которой уравновешивается силой магнитного притяжения. Равновесие достигается при зазоре в несколько микрон, что предопределяет высокую жесткость и нагрузочную способность системы.

Особенности и преимущества

  • Единственный в мире микроскоп со сверхплоским длинноходовым координатным столом нанометрового разрешения;
  • Высокое быстродействие;
  • Бесконтактность измерений;
  • Простота работы;
  • Метрологическая достоверность измерений;

 

Применение

  • Материаловедение;
  • Оптическая промышленность;
  • Точное машиностроение;
  • Твиационно-космическая промышленность.

 

Спецификация

 

№ п/п

Характеристика

Значение

1.

Характеристики микроскопа

1.1

Оптическое увеличение

1000 х

1.2

Поле зрения, мкм

7-150 

1.3

Разрешение по вертикали, нм

0,1

1.4

Разрешение в плоскости XY, нм

100 - 10 

1.5

Размер кадра, пикс.

1024 х 1024

1.6

Скорость съемки, кадр/сек

3 - 30

1.7

Источника света

Лазер 405 нм

2.

Характеристики предметного стола

2.1

Длина хода (X - Y - Z), мм 

300x300x100 

2.2

Результирующая точность, нм 

150

2.3

Разрешение обратной связи, нм

100

2.4

Неплоскостность хода, нм

80

2.5

Непрямолинейность хода, нм

40

2.6

Скорость перемещения, мм/с

До 100

2.7

Грузоподъемность, кг.

100

2.8

Вес, кг.

700

 

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru