Увеличить изображение
Сверхжесткий аэростатический шпиндель
РУС | ENG

::  Стол вертикальной подачи

Стол вертикальной подачи - Z координатный — разработан для обеспечения точности позиционирования по вертикали (фокусировки) на уровне нескольких нанометров при большой длине хода.

Уникальная компоновка устройства позволяет добиться отличных характеристик:

  • Высокая чувствительность
  • Высокая жесткость
  • Высокая грузоподъемность
  • Большая длина хода
  • Широкая область применения
  • Простота применения
  • Возможность встраивания в сторонние системы

Основные преимущества

Все детали стола изготовлены с применением точного оборудования и подвергаются строгому выходному контролю. Стол вертикальной подачи при установке на магнитно-аэростатический XY - координатный стол позволяет преобразовать его в XYZ - координатный стол для 3D-измерений, позволяющая максимально эффективно решать поставленные задачи.

Применение

  • Технологическое оборудование для фотолитографии
  • Оборудование для контроля качества:
    • оптических устройств
    • микроэлектронных устройств
  • Прецизионные системы сканирования
  • Предметные столы микроскопов

Целевые рынки

  • Полупроводниковая промышленность
  • Сверхточное станкостроение
  • Микроскопия, метрология
  • Оптика, фотоника, лазерные системы

Мы готовы разработать стол вертикальной подачи по индивидуальному заказу с учетом ваших потребностей. При необходимости, стол может быть дополнен различными сенсорами.

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru