:: Стол вертикальной подачи
Стол вертикальной подачи - Z координатный — разработан для обеспечения точности позиционирования по вертикали (фокусировки) на уровне нескольких нанометров при большой длине хода.
Уникальная компоновка устройства позволяет добиться отличных характеристик:
-
Высокая чувствительность
-
Высокая жесткость
-
Высокая грузоподъемность
- Большая длина хода
- Широкая область применения
- Простота применения
- Возможность встраивания в сторонние системы
Основные преимущества
Все детали стола изготовлены с применением точного оборудования и подвергаются строгому выходному контролю. Стол вертикальной подачи при установке на магнитно-аэростатический XY - координатный стол позволяет преобразовать его в XYZ - координатный стол для 3D-измерений, позволяющая максимально эффективно решать поставленные задачи.
Применение
- Технологическое оборудование для фотолитографии
- Оборудование для контроля качества:
- оптических устройств
- микроэлектронных устройств
- Прецизионные системы сканирования
- Предметные столы микроскопов
|
Целевые рынки
- Полупроводниковая промышленность
- Сверхточное станкостроение
- Микроскопия, метрология
- Оптика, фотоника, лазерные системы
|
Мы готовы разработать стол вертикальной подачи по индивидуальному заказу с учетом ваших потребностей. При необходимости, стол может быть дополнен различными сенсорами.
|