Увеличить изображение
Клетка крови
РУС | ENG

::  МП100

 

Описание

  Спецификация

  Галерея изображений

  Презентация (PDF)

 

Предназначена для измерения микро- и нанорельефа образца различными зондами в единой координатной системе 100х100х10 мм.

Решает актуальную проблему точного совмещения полей зрения оптических и зондовых микроскопов.

Сверхточная координатно-измерительная машина.  

Для обеспечения максимальной стабильности и точности измерений в различных условиях эксплуатации МП-100 оснащается разными типами устройств обратной связи: голографическая линейка - обеспечивает точность позиционирования до 0,3 мкм, либо лазерный интерферометр - точность позиционирования менее 3 нм.

Для максимальной достоверности измерения объектов со сложной структурой МП-100 может оснащаться различными зондами (лазерный микроскоп МИМ, атомно-силовой микроскоп, датчик касания и др.)


Принцип действия

Принцип действия МП-100 основан на использовании оригинальной технологии аэромагнитных направляющих для создания сверхплоского (>40 нм) координатного стола.  Использование лазерных интерферометров в системе обратной связи позволяет достигать высокой (до 3 нм) точности позиционирования на всей длине хода.       


Особенности и преимущества

  • Единственный в мире микроскоп со сверхплоским длинноходовым координатным столом нанометрового разрешения;
  • Возможность комплексного исследования оптических, механических, электрических, магнитных и других свойств исследуемых объектов в единой системе координат нанометровой точности;
  • Бесконтактные узлы стола не изнашиваются и не теряют точность ;
  • Высокая жесткость стола до 1000 Н/мкм - устойчивость относительно вибраций;
  • Метрологическая достоверность измерения координат;

Применение

  • Нанометрология;
  • Микроэлектроника;
  • Точное машиностроение;
  • Фотоника и оптическая промышленность.

Частные задачи

  • Технологический контроль топологии микросхем (CD metrology);
  • Технологический контроль качества OLED, LCD дисплеев и солнечные батарей;
  • Технологический контроль качества; подложек (вейферов) Ф до 100 мм;
  • Технологический контроль качества оптических поверхностей (линзы, решетки, зеркала, микрооптика)

№ п/п

Характеристика

Значение

1.

Характеристики микроскопа МИМ

1.1

Оптическое увеличение

1000 х

1.2

Поле зрения, мкм

7-150

1.3

Разрешение по вертикали, нм

0,1

1.4

Разрешение в плоскости XY, нм

100 - 10

1.5

Размер кадра, пикс.

1024 х 1024

1.6

Скорость съемки, кадр/сек

3 - 30

1.7

Источника света

Лазер 405 нм

2.

Характеристики предметного стола

2.1

Длина хода (X - Y - Z), мм

100x100x100

2.2

Датчик обратной связи

Голографическая линейка

Лазерный интерферометр

2.3

Результирующая точность, нм

 

С голографической линейкой

С лазерным интерферометром

 

 

100

10

2.4

Неплоскостность хода, нм

Не более 100

2.5

Скорость перемещения, мм/с

До 100

2.6

Грузоподъемность, кг.

100

2.7

Вес, кг.

200

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru