Увеличить изображение
Микротрубка
РУС | ENG

::  Система измерения шероховатости лазерных зеркал

 

Описание

  Спецификация

  Галерея изображений

  Презентация (PDF)

            Лазерная измерительная система для измерения шероховатости зеркал лазеров и лазерных гироскопов разработана на основе новейших технологий низкокогерентной  лазерной микроинтерферометрии. Система позволяет получать полный комплекс данных о шероховатости поверхности сверхгладких (Ra<0.5 нм) зеркал (параметры шероховатости, размеры и форма дефектов, плоскостность и др.) с разрешением 0,1 нм по вертикали. Система оснащается оригинальным программным обеспечением, позволяющим не только получать данные о шероховатости поверхности, но и распознавать и классифицировать дефекты, а также оценивать вклад процессов технологической обработки в суммарную шероховатость.

Система превосходит все известные аналоги по точности измерений.  


Принцип действия

В основу МИМ-300ЛГ положены принципы микроинтерферометрии с использованием некогерентных источников излучения. Высокая чувствительность метода достигается путем использования традиционных фазометрических подходов, реализованных на современной элементной базе. Оригинальная схема осветителя позволяет эффективно накапливать и усиливать сигнал с поверхности зеркала.


Особенности и преимущества

  • Разрешение по вертикали 0,1 нм;
  • Высокое (<100 нм) латеральное разрешение
  • Метрологическая достоверность измерений, суммарная погрешность измерения высоты рельефа не превышает 0,1 нм;
  • Полная автоматизация процесса измерения;
  • Современное программное обеспечение.

 Применение

  • Оптическая промышленность;
  • Авиационно-космическое приборостроение;
  • Нанометрология

 


Спецификация

Характеристика

Лазерный канал

Принцип действия

Микроинтерферометр с некогерентным источником

Назначение

Измерение оптического микрорельефа

Оптическое увеличение микроскопа

780х

Поле зрения

18 мкм

Латеральное разрешение (X, Y)

100 - 10 нм ( объектнозависимо)

Разрешение по вертикали

0,1 нм

Глубина изучаемого рельефа

0,3 - 200 нм

Размер кадра

752*480 пикс.

Скорость съемки

3 - 250 кадров/с

(зависит от размера площадки в пикселях)

Источник света

Светодиод, 455 нм

Габариты образца

Максимальный размер образца

Ф 100 мм

Максимальная толщина образца (нижнее  положение стола)

20 мм

Стол вертикальной подчи

Величина хода по горизонтали

12 мм

Величина хода по вертикали

12 мм

Максимальная нагрузка

15 кг

Шаг фокусировки

>5 нм

Скорость фокусировки

10 мкм/с

Объектив

Увеличение

100x

Числовая апертура

0.90

Рабочий отрезок

1,0 мм

Управление

Интерфейс

USB 2.0

Программное обеспечение

MIMSoft-3, MIM Visualiser

 

<< Назад

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru