Увеличить изображение
Тонкопленочный транзистор (TFT)
РУС | ENG

::  Интерферометры линейных перемещений

 

 

Многофункциональная лазерная измерительная система, позволяющая одновременно измерять линейные, угловые и плоскостные характеристики перемещений. Система превосходит все известные аналоги по разрешению и точности измерений. Система оснащается оригинальным отражателем, что позволяет легко конфигурировать и приспосабливать ее для решения широкого спектра задач.


 

Принцип действия

Система представляет собой лазерный интерферометр, работающий в режиме измерения перемещений объектного плеча. Высокая точность, стабильность и воспроизводимость измерений достигается за счет применения стабилизированного одночастотного лазера, а также оригинального алгоритма обработки сигнала, основанного на измерении фазы интерференционного сигнала. Применение современных высокоскоростных модуляторов позволяет достичь частоты измерения до 12 кГц.


Особенности и преимущества

  • Разрешение <1нм;
  • Высокое быстродействие 12 кГц;
  • Метрологическая достоверность измерений, суммарная погрешность превышает 10 нм;
  • Современное программное обеспечение
  • Оригинальная конструкция;

 


 Применение

  • Станкостроение;
  • Точное машиностроение;
  • Метрология

 

Частные задачи

  • Калибровка координатно-измерительных машин

 

 


 

Спецификация

 

Характеристика

Значение

1.

Диапазон перемещений, м

0-50

2.

Максимальная скорость перемещения мм/с

7

3.

Частота измерений,  кГц

12

 

 

 

4.

В режиме измерения линейных перемещений

4.1.

Диапазон перемещений

0-50

4.2

Погрешность измерений, нм

10

4.3

Разрешение, нм

1

5.

В режиме измерения неплоскостности перемещений

5.1

Диапазон перемещений

0-20

5.2

Диапазон измерения неплоскостности, мм

±1,5

5.3

Погрешность измерений

15

5.4

Разрешение, нм

10

6.

В режиме измерения непрямолинейности перемещений

6.1

Диапазон перемещений

0-20

6.2

Диапазон измерения непрямолинейности

±2,5

6.3

Погрешность измерений

15

6.4

Разрешение, нм

10

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru