Увеличить изображение
Аэромагнитная направляющая
РУС | ENG

::  МИМ-341

Описание   Спецификация   Галерея изображений   Презентация (PDF)

 

Промышленные микроскопы для исследования вейферов и других задач полупроводниковой промышленности

МИМ-341 предназначен для  исследования оптических свойств,  плоскостности, а также микро и нано рельефа вейферов с рекордно высоким для оптической микроскопии разрешением 0,1 нм по вертикали и 10-100 нм в плоскости объекта.

МИМ-341 обеспечивает измерение стандартных параметров плоскостности вейфера (Bow, Warp, TTV, TIR, SRAD, LFPD, LTV) размером до 300 мм, сохраняя точность позиционирования объекта до 100 нм и привязку измеряемой области к единой системе координат. Кроме того, МИМ-341 позволяет измерять критические параметры (Critical dimensions) топологии ИС с точностью 3s<50 нм, что значительно выше аналогичного показателя у оптических профилометров.    

МИМ-341 оснащен сверхплоским аэромагнитным поворотным столом для оптимизации процесса измерения вейфера,  обеспечивающим точность углового позиционирования ±2,5 угл. сек. и биения в радиальном и осевом направлениях не более 0,1 мкм


Принцип действия

Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании оригинальных технологий лазерной микроскопии МИМ и аэромагнитных направляющих. Для вращения вейфера относительно микрообъектива измерительной системы реализован аэромагнитный поворотный столик. Такое  сочетание позволяет исследовать поверхность вейфера до 300 мм методом МИМ без потери координаты и фокуса.

В основе технологии МИМ лежат основные принципы лазерной микроинтерферометрии. Изображение формируется модернизированным трехшаговым методом. В отличие от традиционных многошаговых методов, алгоритм расчета фазы, реализованный в МИМ, состоит в том, что точки стояния опорного зеркала и закон его перемещения выбираются из соображений минимизации погрешностей измерения фазы.

Принцип действия аэромагнитного поворотного стола заключается в следующем: стол состоит из ротора и статора, внутри которых размещены постоянные магниты и каналы подачи сжатого воздуха. Между ротором и статором создается аэростатическая воздушная подушка, подъемная сила которой уравновешивается силой магнитного притяжения. Равновесие достигается при зазоре в несколько микрон, что предопределяет высокую жесткость и минимальные биения в осевом и радиальном направлениях.


Особенности и преимущества

  • Контроль плоскостности вейферов 300 мм на различных этапах технологической обработки
  • Визуализация и локализация дефектов недоступных аналогичным методам микроскопии
  • Метрологическая достоверность измерений


Применение

  • Полупроводниковая промышленность (Lab tool, In Line tool);

 


Спецификация

№ п/п

Характеристика

Значение

1.

Характеристики микроскопа

1.1

Оптическое увеличение

1000 х

1.2

Поле зрения, мкм

7-150 

1.3

Разрешение по вертикали, нм

0,1

1.4

Разрешение в плоскости XY, нм

100 - 10 

1.5

Размер кадра, пикс.

1024 х 1024

1.6

Скорость съемки, кадр/сек

3 - 30

1.7

Источника света

Лазер 405 нм

2.

Характеристики предметного стола

2.1

Длина хода (Y), мм 

300 

2.2

Точность позиционирования (Y), нм 

150

2.3

Разрешение обратной связи (Y), нм

100

2.4

Неплоскостность хода (Y), нм

80

2.5

Непрямолинейность хода (Y), нм

40

2.6

Скорость перемещения (Y), мм/с

До 100

2.7

Рабочий угол поворота, º

360

2.8

Точность углового позиционирования угл. сек.

±2,5

2.9

Скорость вращения, об/мин.

2-10

2.10

Случайная составляющая радиального и торцевого биения при вращении, мкм

не более 0,1

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru