Увеличить изображение
Ступенька - тестовая структура
РУС | ENG

::  МИМ-370ТП

 

Описание

  Спецификация

  Галерея изображений

  Презентация (PDF)

Новое поколение быстродействующих высокоразрешающих промышленных оптических когерентных томографов (ОКТ). Достигнуто быстродействие 0,1-0,01 с. в зависимости от площади исследуемой зоны) и разрешение - менее 10мкм


Принцип действия

В основе получения изображений методами ОКТ лежит принцип оптического радара на длине волны ближнего инфракрасного (ИК) излучения. Оригинальное схемное решение позволяет совместить высокое разрешение методов частотной ОКТ (ОКТЧ) и временной (ОКТВ) томографии, путем введения специального   компенсатора для быстрого восстановления восстановления функции когерентности.


Особенности и преимущества

  • Оптимальное сочетание высокого разрешения и быстродействия;

Применение

  • Полупроводниковая промышленность (лабораторный инструмент для анализа TSV (through silicon VIAs)-структур соединений в многослойных микросхемах
  • Контроль топологии MEMS, исследование многослойных структур.

Спецификация

 

п.п.

Характеристика

Значение

1.

Принцип действия

ОКТ временного типа с модифицированной оптической схемой

2.

Источник излучения

Суперлюминисцентный диод, 840 нм 

3.

Глубина сканирования

2,0 мм (1024 точки)

4.

Скорость сканирования

0,1-0,01 кадров в сек.

5.

Аксиальное разрешение

5 мкм 

6.

Разрешение в плоскости

>10 мкм

 

<< Назад

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru