Увеличить изображение
Микроскоп МИМ-330
РУС | ENG

::  МИМ-321

Описание   Спецификация   Галерея изображений   Презентация (PDF)

МИМ-320 - это Модуляционный интерференционный микроскоп (МИМ), предназначенный для всестороннего исследования свойств материалов.МИМ-320 позволяет получить фазовый портрет микрообъекта, то есть распределение оптической разности хода лучей в интерферометре, соответствующее геометрическому рельефу измеряемого объекта. МИМ-320 это не просто профилометр с возможностью построения 3D изображения: с помощью МИМ-320 можно определить показатель преломления, анизотропию, фазовый состав и механическое напряжение.

Принцип действия

В основу технологии МИМ положены принципы лазерной микроинтерферометрии. Оптическая схема микроскопа представляет собой модификацию интерферометра Линника с фазовым модулятором в опорном плече. Изображение формируется модернизированным трехшаговым методом. В отличие от традиционных многошаговых методов, алгоритм расчета фазы, реализованный в МИМ, состоит в том, что точки стояния опорного зеркала и закон его перемещения выбираются из соображений минимизации погрешностей измерения фазы.

Подробнее>>

Эта инновационная технология позволяет увеличить пространственное разрешение микроскопа до нанометрового уровня, обеспечивая возможность измерения геометрии рельефа и определения оптических материальных параметров исследуемого объекта.


Особенности и преимущества

  • Получение 3D рельефа объекта с разрешением 0,1 нм по вертикали 10-100 нм в плоскости образца;
  • Высокое быстродействие - 3 кадра в секунду  - возможность записи нанокино
  • Бесконтактные измерения и минимальное воздействие лазера
  • Отсутствие сканирования, как следствие высокая стабильность и повторяемость измерений
  • Исследование нанодинамики
  • Исследование поляризационных свойств - опционально


Применение

  • Нанотехнологии;
  • Материаловедение;
  • Полупроводниковая промышленность;
  • Биомедицинские исследования.


Комплектации

Модель

Опции

 

Автофокус

Моторизованный предметный столик

Система подавления когерентности

МИМ-320

-

-

-

МИМ-321

+

+

-

МИМ-322

+

+

+

 


Спецификация

Характеристика

Визирный канал

Лазерный канал

Принцип действия

Оптический микроскоп светлого поля на отражение

Лазерный  микроинтерферометр

Назначение

Поиск области съемки, получение стоп-кадра

Измерение оптического микрорельефа

Оптическое увеличение микроскопа

5x - 100х

50x - 1000х

Поле зрения

750 - 83 мкм

150  - 7,3 мкм

Латеральное разрешение (X, Y)

0,5 мкм

100 - 10 нм

( объектнозависимо)

Разрешение по вертикали

-

0,1 нм

Максимальная глубина изучаемого рельефа

59 - 0,73 мкм

(определяется глубиной резкости объектива)

200 - 600 нм

(зависит от объекта и техники исследования )

Размер кадра

1280х1024 пикс.

752*480 пикс.

Скорость съемки

30 кадров/с

3 - 250 кадров/с

(зависит от размера площадки в пикселях)

Источник света

Светодиод  белый

Лазер фиолетовый,

405 нм, 20мВт

Виды поляризации излучения

-

Линейная

Степень поляризации                    

-

100:1

Угол наклона эллипса поляризации

-

0°-360°, шаг 3,6°±0,1°

Эллиптичность

-

-1..1

Габариты образца

Максимальный размер образца

Æ 100 мм

Максимальная толщина образца (нижнее  положение стола)

20 мм (до объектива)

Стол вертикальной подчи

Величина хода по горизонтали

12 мм

Величина хода по вертикали

12 мм

Максимальная нагрузка

15 кг

Шаг фокусировки

>5 нм

Скорость фокусировки

10 мкм/с

Объективы

Увеличение

 5х, 10x, 20x, 50x, 100x

Числовая апертура

0.15, 0.30, 0.45, 0.80, 0.90

Рабочий отрезок

20,0-1,0 мм

Управление

Интерфейс

USB 2.0

Программное обеспечение

MIMSoft-3, MIM Visualiser

 


 

Сертификация

МИМ-321 сертифицирован по системе добровольной сертификации продукции наноиндустрии «Наносертифика». Сертификат соответствия на продукцию позволяет идентифицировать ее как продукцию наноиндустрии и подтверждает функциональные и преимущественные характеристики продукции.

Сертификат (в формате PDF)

 

Система добровольной сертификации продукции наноиндустрии «Наносертифика» (сокращенное название - Система «Наносертифика») создана по инициативе и при поддержке ОАО «РОСНАНО» для формирования в наноиндустрии эффективного механизма подтверждения соответствия и проведения добровольной сертификации продукции наноиндустрии и систем менеджмента предприятий наноиндустрии.

 

<< Назад

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru