Увеличить изображение
Метрологическая платформа МП-100
РУС | ENG

::  МИМ-350

Описание   Спецификация   Галерея изображений   Презентация (PDF)

МИМ-350 это:

  • полная автоматизация процессов настройки и измерения;
  • на 10-15% улучшенное разрешение;
  • минимальный уровень когерентных шумов;
  • расширенный до 5 мкм диапазон измерения высоты рельефа;
  • расширенное поле зрения
  • прорыв в обрасти интерференциооной микроскопии - турель для смены микрообъективов

МИМ-350 - это новое поколение лазерных микроскопов МИМ. МИМ-350 адаптированны для массового пользователя: все процессы настройки микроскопа (фокусировка, настройка интерференционных полос) полностью автоматизированы.

Оригинальные технические решения, реализованные в МИМ-350, позволили работать с некогерентными источниками излучения, что позволило избавиться от спеклов, когерентных шумов и тем самым значительно улучшить качество изображения, разрешение и точностные характеристики микроскопа.

Функциональные возможности МИМ-350 расширены за счет управления поляризацией, закосом луча лазера, а также перераспределением интенсивности в плечах интерферометра (для исследования слабо отражающих или прозрачных объектов)   

В МИМ-350 преодолен предел измерения высоты рельефа в 200 нм - реализация принципиально нового алгоритма позволила измерять рельеф высотой до 3-5 мкм.

Проекционная оптика МИМ-350 подверглась существенной доработке с точки зрения аберрационного расчета и оптимизации поля зрения.


Принцип действия

 

В основу МИМ-350 положены принципы микроинтерферометрии с использованием некогерентных источников излучения. В МИМ-350 реализована оригинальная схема интерферометра, позволяющая работать с несколькими источниками излучения, при этом полностью контролировать интенсивность, поляризацию и угол закоса луча лазера в плечах интерферометра. Для расширения диапазона измерения высот рельефа, в МИМ-350 реализована оригинальная система сканирования, которая в отличие от традиционных оптических профилометров позволяет работать с высокоапертурными (Na - 0.95) объективами и ,соответственно, не терять разрешения при исследовании рельефа глубиной 3-5 мкм.

Подробнее>>


Особенности и преимущества

 

  • 3D рельеф с разрешением 0,1 нм по вертикали 10-100 нм в плоскости образца;
  • быстродействие - 3 кадра в секунду  - возможность записи нанокино;
  • Бесконтактные измерения и минимальное воздействие лазера;
  • Уникальные исследования нанодинамики;
  • полная автоматизация процессов настройки и измерения;
  • на 10-15% улучшенное разрешение;
  • минимальный уровень когерентных шумов;
  • расширенный до 5 мкм диапазон измерения высоты рельефа;
  • расширенное поле зрения;
  • турель для смены микрообъективов

 


Применение

 

  • Нанотехнологии;
  • Материаловедение;
  • Полупроводниковая промышленность;
  • Биомедицинские исследования.


Спецификация

 

Характеристика

Визирный канал

Лазерный канал

Принцип действия

Оптический микроскоп светлого поля на отражение

Лазерный  микроинтерферометр с некогерентным источником

Назначение

Поиск области съемки, получение стоп-кадра

Измерение оптического микрорельефа

Оптическое увеличение микроскопа

5x - 100х

50x - 1000х

Поле зрения

750 - 83 мкм

150  - 7,3 мкм

Латеральное разрешение (X, Y)

0,5 мкм

100 - 10 нм

( объектнозависимо)

Разрешение по вертикали

-

0,1 нм

Максимальная глубина изучаемого рельефа

59 - 0,73 мкм

(определяется глубиной резкости объектива)

 

5 мкм

Размер кадра

1280х1024 пикс.

752*480 пикс.

Скорость съемки

30 кадров/с

3 кадра/с

Источник света

Светодиод  

Светодиод 455 нм

Виды поляризации излучения

-

Линейная

Степень поляризации                    

-

100:1

Угол наклона эллипса поляризации

-

0°-360°, шаг 3,6°±0,1°

Эллиптичность

-

-1..1

Габариты образца

Максимальный размер образца

Æ 100 мм

Максимальная толщина образца (нижнее  положение стола)

20 мм (до объектива)

Стол вертикальной подчи

Величина хода по горизонтали

12 мм

Величина хода по вертикали

12 мм

Максимальная нагрузка

15 кг

Шаг фокусировки

>5 нм

Скорость фокусировки

10 мкм/с

Объективы

Увеличение

 5х, 10x, 20x, 50x, 100x

Числовая апертура

0.15, 0.30, 0.45, 0.80, 0.90

Рабочий отрезок

20,0-1,0 мм

Управление

Интерфейс

USB 2.0

Программное обеспечение

MIMSoft-3, MIM Visualiser

<< Назад

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru