Увеличить изображение
Тестовая структура для калибровки Атомно-силовых микроскопов
РУС | ENG

::  Двухкоординатные столы

 

     

 

Описание   Спецификация  Габаритный чертеж  Презентация (PDF)

 

Описание

Разработаны для обеспечения точности позиционирования на уровне нескольких нанометров при сохранении высокой прямолинейности и плоскостности на большой длине хода.

Принцип действия

Двухкоординатный стол состоит из аэромагнитной опоры, жестко соединенной с ортогональным аэростатическим приводом. Все вместе монтируется на плоской плите - основании.

Основные преимущества:

  • Нанометровая точность позиционирования
  • Высокая жесткость
  • Большая длина хода
  • Отсутствие трения

Области применения: точное станкостроение, машиностроение, оборонная, авиационно-космическая промышленность.

 Презентация (PDF)

 Спецификация

     

№ п/п

Характеристика

Значение

1.

Ход стола YX, мм

50 х 50

2.

Непрямолинейность перемещения на длине хода, нм

не более 40

3.

Неплоскостность перемещения рабочей поверхности на длине ходов, нм

не более 40

4.

Дискретность перемещения, нм

10

6.

Масса, кг  

не более 5

7.

Максимальная скорость, мм/с

10

8.

Размер предметного стола (длина х ширина), мм  

50х50

8.

Габариты (длина х ширина х высота), мм

200х120х45

 

Спецификация (PDF)

 

<< Назад

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru