Увеличить изображение
Микроскоп МИМ-330
РУС | ENG

::  Аэромагнитные линейные направляющие с угловой кареткой

 

 

 

 

 

Описание       Спецификация   Габаритный чертеж   Презентация (PDF)

 

Принцип действия

Принцип действия аэромагнитных направляющих основан на оригинальном запатентованном способе бесконтактного перемещения. Направляющие содержат подвижную танкетку и рельс, который закрепляется на жестком основании. Специальная система из постоянных магнитов обеспечивает высокую жесткость направляющей, а аэростатические подшипники создают постоянный зазор между танкеткой и рельсом.

Аэромагнитная линейная направляющая с одиночной кареткой состоит из рельса (или нескольких) и танкетки, внутри которой размещен постоянный магнит и каналы подачи сжатого воздуха. Между танкеткой и рельсом в работе создается аэростатическая воздушная подушка, подъемная сила которой уравновешивается силой магнитного притяжения. Равновесие достигается при зазоре в несколько микрон, что предопределяет высокую жесткость и нагрузочную способность системы.  

Эта направляющая обеспечивает высокую точность перемещения и отсутствие реакции опоры, как в направлении перемещения, так и в поперечном направлении, а также в направлении вращения относительно вертикальной оси.

Такая направляющая является необходимым элементом при создании узла продольной подачи, т.к. ее применение не создает статической неопределимости и тем самым не вносит дополнительных погрешностей.

 


Преимущества

Аэромагнитные направляющие значительно лучше традиционных аэростатических, гидростатических направляющих и направляющих качения. Они обладают высочайшей жесткостью и грузоподъемностью (превосходят аналоги в 5 - 10 раз) при полном отсутствии контакта между деталями.

Все детали аэромагнитных направляющих изготовлены с применением точного оборудования и подвергаются строгому выходному контролю. Аэромагнитные направляющие разработаны специально для использования в составе сверхточных приводов для технологического и измерительного оборудования.

Применение

  • Технологическое оборудование для фотолитографии
  • Оборудование для контроля качества
    • OLED, LCD дисплеев
    • солнечных элементов
    • фотомасок
    • микроэлектронных устройств
  • Приводы сверхточных станков
  • Предметные столы микроскопов

Целевые рынки

  • Полупроводниковая промышленность
  • Сверхточное станкостроение
  • Оборудование для хранения данных
  • Микроскопия, метрология
  • Оптика, фотоника, лазерные системы
  • Производство плоских дисплеев
  • Солнечная энергетика

Презентация (PDF)


Спецификация

 

 

Вид каретки

Ширина, мм

Высота, мм

Длина каретки, мм

Длина рабочей части рельса, мм

Ход, мм

Характеристики

Макс. усилие на каретку,  Н

Жесткость направляющей, Н/мкм

п/п

1

2

3

4

5

6

8

9

1

ЛНУ2-730

30

30

150

500

350

2200

750

2

ЛНУ02-830

      37

37

37

37

150

100

500

500

350

400

2800

2000

900

620

3

ЛНУ-830.00

40,5

40,5

150

500

350

2250

750

4

МИМ340.820а

60

60

200

510

310

6000

2000

Спецификация (PDF)

 

<<  Назад 

 

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru