Увеличить изображение
Тестовая структура для калибровки Атомно-силовых микроскопов
РУС | ENG

::  Стол вертикальной подачи

 

Описание   Спецификация   Габаритный чертеж   Презентация (PDF)

Стол предназначен для перемещения объекта в вертикальном направлении, например, для фокусировки микроскопов или систем фотолитографии. Обеспечивает безлюфтовое перемещение объекта с ходом до 10 мм дискретностью менее 10 нм. Чрезвычайно высокая жесткость конструкции (1000 Н/мкм) снижает уровень вибраций в вертикальном направлении до уровня менее 1 нм.

Принцип действия

Принцип действия стола основан на использовании 2-х роликовых безлюфтовых кареток, объединенных общим коромыслом, содержащим клиновое ребро. Механизм приводится в движение шариковым винтом, соединенным с шаговым двигателем через червячный редуктор. Люфт выбирается при помощи пружин.

Основные преимущества:

  • Высокая (1000 Н/мкм) жесткость;
  • Дискретность перемещения может быть уменьшена до 0,8 нм за счет электронного деления в управлении шаговым двигателем (т.е. без изменения конструкции);
  • Полное отсутствие люфта и скачков при перемещении предметного стола.

Области применения: точное станкостроение, машиностроение, микроскопия, фотолитография.

Презентация (PDF)

 Спецификация

  

№ п/п

Характеристика

Значение

1.

Длина хода, мм

10

2.

Дискретность перемещения, нм

10

3.

Размер рабочей поверхности, мм

300х300

4.

Грузоподъемность, кг

15

5.

Тип привода

шаговый

6.

Устройство обратной связи

нет

7.

Габариты

340х150х150

8.

Масса, кг

15

Спецификация (PDF)

 

<< Назад

© 2014 Лаборатории АМФОРА
разработка сайтов - SilverSite.ru